+高级检索
首页 > 过刊浏览>2004年第23卷第2期 >99-102
PDF HTML阅读 XML下载 导出引用 引用提醒
128元非致冷氧化钒红外探测器的制作
DOI:
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

TN215 O484.1

基金项目:

国家自然科学基金重点资助项目 (60 10 60 0 3 )


FABRICATION OF 128-ELEMENT UNCOOLED VO_x THERMAL IR DETECTORS
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
    • |
  • 图/表
    • |
  • 访问统计
    • |
  • 参考文献
    • |
  • 相似文献
    • |
  • 引证文献
    • |
  • 资源附件
    • |
  • 文章评论
    摘要:

    采用新工艺在氮化硅衬底上制备了室温时电阻温度系数为 - 0 .0 2 1K-1的氧化钒薄膜 ,以此为基础 ,利用光刻和反应离子刻蚀工艺在硅衬底上制作了 12 8元氧化钒红外探测器 .为了降低探测器敏感元与衬底间的热导 ,设计制作了自支撑的微桥结构阵列 .测试结果显示探测器的响应率和探测率在 8～ 12 μm的长波红外波段处分别达到10 4V/W和 2× 10 8cmHz1/ 2 W-1.

    Abstract:

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

王宏臣,易新建,陈四海,黄光,肖静.128元非致冷氧化钒红外探测器的制作[J].红外与毫米波学报,2004,23(2):99~102]. WANG Hong Chen, YI Xin Jian, CHEN Si Hai, HUANG Guang, XIAO Jing . FABRICATION OF 128-ELEMENT UNCOOLED VO_x THERMAL IR DETECTORS[J]. J. Infrared Millim. Waves,2004,23(2):99~102.]

复制
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:
  • 录用日期:
  • 在线发布日期:
  • 出版日期:
文章二维码
您是第 位访问者
主管单位：中国科学院
主办单位：中国科学院上海技术物理研究所，中国光学学会
地址：上海市玉田路500号 电话：021-25051553
红外与毫米波学报 ® 2024 版权所有