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PSD233型位置敏感元件的特性及其在AFM中的应用
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TN15

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CHARACTERISTICS OF PSD233 POSITION SENSITIVE DETECTOR AND ITS APPLICATION IN ATOMIC FORCE MICROSCOPE
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    给出了自制的 3mm× 3mm位置敏感元件 (PSD)的光谱响应特性 ,覆盖从紫外光、可见光到红外光 (32 0～115 0nm)的广阔区域 .采用光束偏转法对其时间响应特性和位置敏感特性进行测定 .阐述了PSD在卧式原子力显微镜 (AFM)系统中的应用 ,介绍了卧式AFM的工作原理和控制系统 ,提供了部分样品的AFM扫描图像 .结果表明 ,该AFM系统具有较高的成像效率以及良好的工作稳定性、图像重复性和对比度 ,系统的最大扫描范围为 5 μm× 5 μm ,分辨率达到 1nm量级 ,表明PSD在光谱响应、时间响应和位置敏感特性等方面具有优良性能

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引用本文

张冬仙 章海军 林晓峰. PSD233型位置敏感元件的特性及其在AFM中的应用[J].红外与毫米波学报,2003,22(5):384~388]. ZHANG Dong Xian ZHANG Hai Jun LIN Xiao Feng. CHARACTERISTICS OF PSD233 POSITION SENSITIVE DETECTOR AND ITS APPLICATION IN ATOMIC FORCE MICROSCOPE[J]. J. Infrared Millim. Waves,2003,22(5):384~388.]

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