张晋敏 杨宇 等.溅射气压对Si／Ge多层膜结构光学常数的影响[J].红外与毫米波学报,2003,22(1):77~79]. ZHANG Jin-Min ) GAO Xiao-Yong ) YANG Yu ) CHEN Liang-Yao ). EFFECTS SPUTTERING Ar PRESSURE ON THE OPTICAL CONSTANTS OF Si/Ge MULTILAYERS[J]. J. Infrared Millim. Waves,2003,22(1):77~79.]
复制