(Ba0.5Sr0.5)TiO3铁电薄膜的制备工艺及电学性质研究
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O484 TM223

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(Ba0.5Sr0.5)TiO3 THIN FILM''''S PREPARATION AND IT''''S ELECTRIC CHARACTERISTICS
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    采用溶胶 凝胶方法制备出纯立方钙钛矿相、介电性能和漏电流特性良好的 (Ba0 .5Sr0 .5)TiO3 铁电薄膜 .研究发现 ,随着烧结温度的升高 ,(Ba0 .5Sr0 .5)TiO3 薄膜纯度和结晶度增高 ,介电常数提高 ,漏电流密度降低 .在 75 0℃进行保温 1h热处理的薄膜性能较好且稳定 :在室温下测得薄膜介电常数为 2 5 0 ,介电损耗为 0 .0 30 ,漏电流密度为 6 .9× 10 -8A/cm2 .较高的介电常数、较低的漏电流密度可能源于良好的纯度和结晶度 .进一步研究表明 ,薄膜导电遵从空间电荷限制电流机制 .

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引用本文

赵敏 张荣君 顾豪爽 徐纪平.(Ba0.5Sr0.5)TiO3铁电薄膜的制备工艺及电学性质研究[J].红外与毫米波学报,2003,22(1):71~74]. ZHAO Min ) ZHANG Rong-Jun ) GU Hao-Shuang ) XU Ji-Ping ).(Ba0.5Sr0.5)TiO3 THIN FILM''''S PREPARATION AND IT''''S ELECTRIC CHARACTERISTICS[J]. J. Infrared Millim. Waves,2003,22(1):71~74.]

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  • 最后修改日期:2002-08-11
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