用于改善PtSi红外焦平面阵列器件响应特性的长焦距GaAs微透镜阵列器件的制作研究(英文)
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国防科技重点实验室基金 (编号 99JS11.2 .0 JW0 5 0 5 )资助项目,国家自然科学基金 (编号 60 0 860 0 3)~~


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    提出了一种新的曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作。扫描电子显微镜 ( SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列 ,表面探针测试结果显示用曲率补偿法制作的微透镜的焦距可达到 3 861.70 μm,而常规光刻热熔法很难制作出焦距超过 2 0 0μm的相同尺寸的微透镜阵列。微透镜阵列器件与红外焦平面阵列器件在红外显微镜下对准胶合 ,显著改善了红外焦平面阵列器件的响应特性

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引用本文

何苗,易新建,程祖海,刘鲁勤,王英瑞.用于改善PtSi红外焦平面阵列器件响应特性的长焦距GaAs微透镜阵列器件的制作研究(英文)[J].红外与毫米波学报,2001,20(5):321~324]. HE Miao YI Xin Jian CHENG Zu Hai.[J]. J. Infrared Millim. Waves,2001,20(5):321~324.]

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