TN215
利用Ar^+束溅射沉积技术实现了CdTe薄膜的低温生长,利用电化学方法进行了HgCdTe表面自身阳极氧化膜的生长,利用生工的CdTe介质膜和HgCdTe表在身阳极氧化膜对n-HgCdTe光导器件进行了表面钝化。对两种器件的电阻、各项性能指标进行了测量分析,实验表明得到的CdTe/HgCdTe同质量已达到器件实用化水平。
周咏东 方家熊. n—HgCdTe光导器件两种表面钝化研究[J].红外与毫米波学报,2000,19(3):233~236]. THE STUDY OF TWO KINDS OF SURFACE PASSIVATION WAYS FOR n-HgCdTe PHOTOCONDUCTOR DEVICE[J]. J. Infrared Millim. Waves,2000,19(3):233~236.]