Si1—x Gex/Si定向耦合器的研制
中图分类号:

TN252

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    在运用SiGe脊形波导单模条件和有效折射率法分析SiGe/Si定向耦合器结构参数基础上,采用分子束外延和各向异性腐蚀技术制备出Si1-xGex/Si单模定向耦合器。在波长为1.3μm时,平均串音小于-18.1dB,输出功率耦俣效率达到98.1%。

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引用本文

高勇,张翔九. Si1—x Gex/Si定向耦合器的研制[J].红外与毫米波学报,1996,15(1):33~37].[J]. J. Infrared Millim. Waves,1996,15(1):33~37.]

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