国家自然科学基金资助课题
根据光弹性原理,利用红外光弹性测量系统,采用Senarmont补偿法,对离子注入工艺应力进行了测量。对离子注入工艺应力、退火后应力、应力的分布、应力随剂量和表面浓度的变化进行了研究。
蒋连生,赵寿南,梁汉成.硅晶体中离子注入应力的红外光弹性测量及研究[J].红外与毫米波学报,1990,9(6):].[J]. J. Infrared Millim. Waves,1990,9(6).]
