戴宁,于梅芳,乔怡敏,罗兴华
采用热壁外延的方法在CdTe体材料衬底上外延一层CdTe,获得质量优于衬底的外延膜。外延层用X射线衍射定向,方向与衬底同为(111)。比较外延层和体材料电反射谱,表明外延层的质量优于衬底。利用俄歇电子能谱分析了外延层表面到衬底的元素组份及杂质成分。
戴宁,于梅芳,乔怡敏,罗兴华.用CdTe衬底热壁外延生长CdTe[J].红外与毫米波学报,1987,6(2):].[J]. J. Infrared Millim. Waves,1987,6(2).]
