全息光刻制备LC-DFB及光栅刻蚀优化
作者:
作者单位:

北京航空航天大学 物理科学与核能工程学院,中国科学院半导体研究所 超晶格实验室,中国科学院半导体研究所 超晶格实验室,中国科学院半导体研究所 超晶格实验室,中国科学院半导体研究所 超晶格实验室,中国科学院半导体研究所 超晶格实验室,北京航空航天大学 物理科学与核能工程学院,中国科学院半导体研究所 超晶格实验室

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基金项目:

国家自然科学基金项目(面上项目,重点项目,重大项目),国家重点基础研究发展计划(973计划)


Laterally-coupled distributed feedback lasers with optimized gratings by holographic lithography etching
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School of Physics and Nuclear Energy Engineering,Beihang University,State Key Laboratory for Supperlattices and Microstructures,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,State Key Laboratory for Supperlattices and Microstructures,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,State Key Laboratory for Supperlattices and Microstructures,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,State Key Laboratory for Supperlattices and Microstructures,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,State Key Laboratory for Supperlattices and Microstructures,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,School of Physics and Nuclear Energy Engineering,Beihang University,State Key Laboratory for Supperlattices and Microstructures,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences

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    摘要:

    成功制备出室温激射波长为2 μm的GaSb基侧向耦合分布反馈量子阱激光器.采用全息曝光及电感耦合等离子体刻蚀技术制备二阶布拉格光栅.优化了光栅制备的刻蚀条件,并获得室温2 μm单纵模激射.激光器输出光功率超过5 mW,最大边模抑制比达到24 dB.

    Abstract:

    GaSb-based laterally coupled distributed feedback (LC-DFB) quantum well lasers with a wavelength of 2 μm were successfully prepared. Second order Bragg gratings are fabricated by holographic lithography and inductively coupled plasma etching (ICP). The etching conditions for grating preparation are optimized and a single longitudinal mode lasing at room temperature is obtained. The room temperature peak power output per facet exceeds 5 mW with a maximum side-mode suppression ratio of more than 24 dB.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

李欢,杨成奥,谢圣文,黄书山,柴小力,张 宇,王金良,牛智川.全息光刻制备LC-DFB及光栅刻蚀优化[J].红外与毫米波学报,2018,37(2):140~143]. LI Huan, YANG Cheng-Ao, XIE Shen-Wen, HUANG Shu-Shan, CHAI Xiao-Li, ZHANG Yu, WAGN Jin-Liang, NIU Zhi-Chuan. Laterally-coupled distributed feedback lasers with optimized gratings by holographic lithography etching[J]. J. Infrared Millim. Waves,2018,37(2):140~143.]

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  • 收稿日期:2017-07-05
  • 最后修改日期:2017-08-28
  • 录用日期:2017-09-04
  • 在线发布日期: 2018-05-03
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