应用于中红外波段的阵列化多孔硅一维光子晶体的制备
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齐齐哈尔大学通信与电子工程学院,齐齐哈尔;齐齐哈尔大学通信与电子工程学院,齐齐哈尔,齐齐哈尔大学通信与电子工程学院,齐齐哈尔;齐齐哈尔大学通信与电子工程学院,齐齐哈尔,中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海

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Fabrication of array of one-dimensional porous silicon photonic crystal
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Qiqihar University,Qiqihar University,Shanghai Institute of Technical Physics

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    摘要:

    首先通过光刻工艺制作了阵列化岛状硅衬底,然后利用交替变换阳极腐蚀电流, 通过合理的控制制备参数,适当的热氧化条件,成功地制备了禁带中心位于5μm、6μm、7μm、10μm的阵列化多孔氧化硅一维光子晶体. 随后在其表面淀积一层低应力的Si3N4,通过原子力显微镜(AFM)和傅里叶红外反射谱(FTIR)测试证明, 沉积Si3N4后该结构仍然具有良好的平整度和较高的反射特性。该阵列结构不但具有较好的隔热和高反射特性,而且岛状的阵列结构可使其与其他器件互联变得简单易行,必将为制备多功能、一体化器件提供有利条件。

    Abstract:

    With the aid of photolithography, arrays of one-dimensional porous silicon photonic crystal with the middle infrared mid-gap (λ=5、6、7、10 μm) were fabricated successfully by the combination of microelectronic technique and the electrochemical etching method. For practical use, the roughness of the surface was improved by deposited a Si3N4 thin film with 5000 ?. Then their optical and roughness properties were characterized by FTIR and AFM, respectively. As a result of the synergetic effects rendered by heat isolation and high reflection properties, the array of the one-dimensional porous silicon photonic crystal exhibit feasibility as the substrate for pyroelectric infrared sensor.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

苗凤娟,陶佰睿,褚君浩.应用于中红外波段的阵列化多孔硅一维光子晶体的制备[J].红外与毫米波学报,2012,31(4):311~313]. MIAO Feng-Juan, TAO Bai-Rui, CHU Jun-Hao. Fabrication of array of one-dimensional porous silicon photonic crystal[J]. J. Infrared Millim. Waves,2012,31(4):311~313.]

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  • 收稿日期:2011-08-17
  • 最后修改日期:2012-02-26
  • 录用日期:2011-10-10
  • 在线发布日期: 2012-08-27
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