CdSeTe分子束外延技术研究
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Research on CdSeTe Molecular Beam Epitaxy Technology
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    摘要:

    对HgCdTe红外探测器CdSexTe1-x衬底材料的分子束外延生长条件、组分调整等进行了简单介绍。生长条件包括生长结构(主要有CdSexTe1-x/CdTe/ZnTe/Si、CdSexTe1-x/ZnTe/GaAs等)、生长温度(300℃左右)、生长厚度(5 μm左右)等。组分调整包括分析Se组分随(JSe+JTe)/JCd和JSe/(JSe+JTe)的变化。JSe/(JSe+JTe)值较小时,Se组分较难融入外延层;JSe/(JSe+JTe)值较大时,Se组分增长较迅速。同时,若JSe/(JSe+JTe)值较小,则Se组分增长趋势相对较易控制。当JSe/(JSe+JTe)值一定时,Se组分随着(JSe+JTe)/JCd的减小而增大。Se组分变化的突增点随(JSe+JTe)/JCd值的减小而增大。本文可为高性能HgCdTe红外探测器的制备提供一定的参考。

    Abstract:

    The molecular beam epitaxial growth conditions and component adjustment of CdSexTe1-x substrate material for HgCdTe infrared detectors are briefly introduced. Growth conditions include growth structure (mainly CdSexTe1-x/CdTe/ZnTe/Si, CdSexTe1-x/ZnTe/GaAs, etc.), growth temperature (about 300℃), and growth thickness (about 5 μm ), etc. Component adjustment includes analyzing the changes of Se components with (JSe+JTe)/JCd and JSe/(JSe+JTe). When the JSe/(JSe+JTe) value is small, it is difficult for the Se component to incorporate into the epitaxial layer. When the JSe/(JSe+JTe) value is large, the Se component increases rapidly. At the same time, when the JSe/(JSe+JTe) value is small, the growth trend of the Se component is relatively easy to control. When the value of JSe/(JSe+JTe) is constant, the Se component increases with the decrease of (JSe+JTe)/JCd. The sudden increase point of Se component change increases with the decrease of (JSe+JTe)/JCd value. This paper can provide some reference for the preparation of high-performance HgCdTe infrared detectors.

    参考文献
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引用本文

何温,王丛,高达,等. CdSeTe分子束外延技术研究[J].红外,2023,44(3):8-13.

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  • 收稿日期:2022-10-09
  • 最后修改日期:2022-10-27
  • 录用日期:2022-10-31
  • 在线发布日期: 2023-03-31
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