用CMOS工艺方法制作的低成本非致冷红外探测器(上)
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TN215 TP212

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    本文介绍用标准的 n 阱 CMOS 工艺方法实现的两种低成本非致冷红外微测辐射热计探测器,并对它们的性能进行了比较,其中一种探测器基于悬置式 n 阱电阻器,它是用0.8μm 的 CMOS 工艺方法制作的,其像元尺寸为80μm×80μm,占空因数为13%;另一种探测器基于悬置的p~+激活/n 阱二极管,这是用0.35μm 的 CMOS 工艺方法制作的,其像元尺寸为 40μm×40μm,占空因数为44%,在 CMOS 制作之后,这些探测器用简单的整体微机械加工方法即可获得,无需任何复杂的平版印刷或者淀积工序,

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顾聚兴.用CMOS工艺方法制作的低成本非致冷红外探测器(上)[J].红外,2005,(1):33-39.

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